하전입자빔(전자, 이온) 소스 및 광학계 설계 및 제작

Field Emission electron source, Electromagnetic Lens, coil system. Ga ion source, Plasma ion source, Electronstatic Lens, electrode system.

진공용 스테이지, 챔버 시스템, 플라즈마 장치, 표면처리 장치 제작

· 하전입자빔 장비에 들어가는 각종 진공 장치의 설계, 제작 및 테스트 수행.

· 진공용 Multi-Axis 스테이지 수동 및 모터구동을 정밀하게 조작 - 고정밀, 고진공 장치 제작

· 표면처리용 플라즈마 장치의 설계, 제작 및 테스트 제품 제작

하전입자빔 제어 장치, Image(Pattern) Generator(Motor, Vacuum, High Voltage) Controller

· 하전입자빔 장비의 electro magnetic, static lens Amp. 및 Controller 제작

· 영상획득 및 패턴가공을 위한 고정밀 영상, 패턴 제어기 제작 및 컨설팅

· 정밀 모터, 렌즈 제어용 Amp., Controller 고진공 제어시스템 제작