EQUIPMENT
다양한 산업 분야의 새로운 혁신에 기여합니다
Triple Beam (XVision200)
• 고품질의 TEM 시료를 준비하기 위해 요구되는 저손상 가공이 가능
• Triple Beam System(FIB, SEM, Ar 이온빔)으로 동일한 챔버에서 Ar 이온빔 밀링과 SEM 모니터링을 통해 고품질의 TEM 시료를 확실히 만들 수 있음.
• FIB 처리 중 실시간으로 고배율 SEM 모니터링이 가능합니다. 이를 통해 사용자 특정 지점에서 신뢰할 수 있는 결과를 획득 가능
• "Easy Navi" 기능은 XVision 시리즈 전용으로, 응용 프로그램에 따라 준비된 아이콘이 선택되면 작동 절차가 탐색, 시스템은 사용자 친화적인 운영 환경으로 구성.
Categories : Analysis Techniques, Failure Analysis, Sample Preparation
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장비 Opation
- EDX
- Micro Probing System
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Application
- SEM, STEM sample preparation
- TEM sample preparation
• Automatic TEM Sample Preparation ATEM*
• In-situ Sample Pick-up*
• Low Acceleration Voltage Ion Beam Finishing (Ar Ion Milling*** or 1 kV Ga Ion Beam)
- Auto Cut & See**
- Cross Section Measurement*
- Circuit Modification for Reverse Engineering
- High resolution cross-section images of small, hard-to-access sample features
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관찰사례
- SEM, STEM sample preparation
