• SEM 관찰에 필요한 non-oxidizing Au, Pt, Pd 금속 코팅

• 비정질 박막으로 최고 분해능 관찰이 가능

• 생물, 바이오, 섬유 등 시료의 열손상 최소

• 두께 측정 가능 (분해능 0.1nm)

• Sputter 이온 코터를 기본으로, 플라즈마 Cleaning 가능

• Rotary pump 진공 베이스